日本、美国及德国等发达**对于粉体颗粒球形化技术的重视水以及善常识产权呵护力度**大。除对于球形化技术及关键装置恳求专利呵护外，外洋对于消耗厂中间部位的保密意见也**强，简直全副接管敞开式打点，不应承任何第三方妨碍鉴赏审核，好比日本对于我国进口的高技术球形硅微粉参数一贯接管保密措施，德国甚至将高技术石英粉视作策略物资而限度进口。

随着科技的日益普及，微电子元件功能不断普及，对于封装技术及封装资料的要求越来越高，球形硅微粉因为具备其余规范石英粉无奈比照的低劣特色，正被逐步运用于大规模及超大规模集成电路的消耗中，在电子信息技术畛域发挥着越来越紧张的浸染。

球形硅微粉是由人造石英石经提纯超细破碎捣毁后，经由未必的高温场，使其相态、晶型及形态瞬间发生变换，由固态酿成熔融态再酿成固态，由晶态酿成非晶态，由不法则角形颗粒变陋习则的球形颗粒而患上到的一种粉末。其制备方式当初简陋有如下多少种。

一、高温等离子体熔融法

高温等离子体熔融法是运用替换或者直流电弧等离子体产生的高温气体作热源，将石英粉体喷射到等离子焰中，粉体受热凝聚并瞬间气化，再经骤冷，经旋风以及布袋收集，便患上到球状硅微粉。

其特色是加热温度高，可能取患上比化学焚烧高５倍以上的温度（３000Ｋ以上）场，高温高热以及高活性气氛使化学反映妨碍**迅速；当反映物料分开等离子体时，经急骤冷却，粒子再也不长大；可依据区别需要组成区别气氛的等离子态，反映物抉择畛域宽。但等离子体技术难度很大，使患上产物球化率不易操作、很难构陋习模消耗。

二、高温熔融喷射法

高温熔融喷射法是把物料置于高温场中将其凝聚使之成为熔融体，在熔融体流出的瞬间，以经由喷射器的低压空气妨碍喷吹，熔融物被高速气流浪漫打碎成雾状小液滴，再被迅速冷却，小液滴遇冷便快捷人造缩短成外表润滑的球状颗粒。

高温熔融喷射法是*易保障球形化以及无定形率的方式。可是，炉体高温资料、稀薄的石英熔融体雾化以及防御二次传染等一系列关键技术不突破，用于制作高纯球形石英粉难度很大。

三、气体焚烧火焰法

肉粉、肉骨粉是很好的钙、磷来源，不仅含量高，而且比 例适宜，磷都是可利用的，鸡一般用6%以下为宜，生长育肥猪 5%以下为宜，仔猪避免使用。骨粉是指以畜骨为原料制成的粉状产品。粗制骨粉和蒸骨粉分别约含钙23％和30％，磷10％和14.5％，可作家畜的矿物质饲料，质量较差者可作肥料。

气体焚烧火焰法因此乙炔气、氢气、人造气等燃料气为质料，以氧气或者空气为助燃气，经由密闭炉窑焚烧产生清洁火焰。与此同时，角形石英粉随气流被输送到火焰中。当角形粉末经由高温火焰场时，首先被凝聚为无定形颗粒，当它分开高温场被迅速冷却时即将缩短酿成球形颗粒，再经由旋风收集便患上到废品。

此法与等离子体高温火焰比照，首先温度场相对于较低，其次是影响因素较少，配置装备部署制作加倍简化，简略实现工业化，发展远景较好。

四、化学分解法

化学分解法以及此外的制备方式有清晰的差距，主若是接管溶胶—凝胶技术，在散漫剂以及球形催化剂存在的条件下制备出球形石英粉。用化学法消耗的球形石英粉，其球形度、球化率、无定形率均可达到100％，而且可能达到很低的喷射性指标，但其容积密度较低，比外表积大。吸油率高，当残缺用此种球形粉制成环氧树脂模塑料时，模塑料的密实功能、强度着落．线性缩短率变大，影响模塑料的封装功能，故实际运用中这种球形石英粉*大削减量有限。

五、燃爆法

燃爆法消耗球形硅微粉这天本开收归来的技术，主要用来消耗超细球形石英粉。燃爆法是一种运用金属粉末的燃爆历程消耗球形的氧化物微粒的方式。把单晶或者多晶硅粉末喷洒在氧气流中焚烧，天生的二氧化硅在高温下会酿成蒸气或者液体，冷却后会组成球形的二氧化硅微粒，焚烧产生的反映热用来扑灭不断退出的硅粉。

燃爆法具备良多短处，可能简化工艺，节约能源，而且不会产生有害的副产物。这种方式的关键是反映历程的操作，假如反映太猛烈会发生爆炸。此外，因为超细粉体比外表积大极易团聚，因此产物若何散漫也是一个难题。

六、气相法

气相法SiO2（俗称气相法白炭黑）是由硅的卤化物在高温上水解制患上的一种详尽、非凡的无定形粉体资料。

气相法SiO2产物纯度高、平均原生粒径为7～40 nm、比外表积50～380 m2/g、SiO2品质分数不小于99.8％，但在有机物中难以散漫。

七、积淀法

积淀法以水玻璃以及酸化剂为质料，适时退出外表活性剂，操作反映温度，在积淀溶液pH值为8时加晃动剂，所患上积淀经洗涤、去世板，煅烧后组成硅微粉。

积淀法天生的SiO2粒径平均且老本低，工艺易操作，有利于工业化消耗，但存在未必的团聚征兆。

八、微乳液法

微乳液法是运用两种互不相溶的溶剂在外表活性剂的浸染下组成平均的乳液，使成核、消耗、聚结、团聚等历程规模在一个重大的球形液滴内，从乳液中析出固相，组成球形颗粒，防御了颗粒间进一步团聚。运用微乳液法制备SiO2大多以正硅酸乙酯为硅源，经由正硅酸乙酯份子散漫透过反胶束界面膜向水核内浸透，继而发生水解缩合反映，制患上SiO2。此法制备的产物具备粒度扩散窄、粒径可控、散漫性好等短处。

九、水热分解法

水热分解法是液相制备纳米粒子的一种罕用方式，艰深在100～350℃温度以及低压情景下，使有机以及有机化合物与水化合，经由对于减速渗析反映以及物理历程的操作，患上到改善的有机物，再经由滤、洗涤、去世板，患上到高纯、超细的微粒子。

水热法的短处是可间接天生氧化物，防御了艰深液相分解法需经由锻烧转化成氧化物这一步骤，从而着落了硬团聚的组成多少率。此法与溶胶—凝胶方式比照，不光能普及反映速率，消除全副浓度不均，而且对于团聚粉体颗粒有破损浸染。

十、喷雾法

喷雾法是将溶液经由种种物理伎俩妨碍雾化取患上超微粒子的一种化学与物理相散漫的方式。它的根基历程是溶液的制备、喷雾、去世板、收集以及热解决。此方式特色是颗粒扩散比照平均，但颗粒尺寸为亚微米到10μm，是一种分解粒径可控纳米粒子氧化物的新方式。

十一、自伸张高温焚烧法

其工艺流程包罗硅酸钠的制备、硅酸溶胶的制备、搅浑焚烧液的制备、焚烧反映、退火除碳、洗涤解决等步骤。尽管该技术具备一些清晰的短处如：质料宽泛、工艺重大、有利于制备高纯硅微粉等，但当初该方式还只是勾留在试验阶段，还不能很好的大规模消耗。

十二、高温煅烧球形化

其工艺流程如下：人造粉石英矿粉粗选，将粗选后的低劣人造粉石英矿粉经由洗涤后，退出陈化剂，使其粉石英矿粉在碱性条件下妨碍陈化，陈化后过滤，将滤物脱水烘干后，散漫制成粉状或者退出粘结剂制成块状，再将粉状或者块状石英矿粉在1280-1680℃高温炉中保温1-10小时妨碍烧制，冷却后再妨碍散漫磨粉球化、磁选大风选分级，患上到高纯超细球形硅微粉。该技术当初还处于试验阶段。